Sichere Transportlösung für Dünnwafer im Reinraum
Individuell entwickelte Sonderlösung zur Reduktion von Bruch und Beschädigung beim internen Transport.
Ausgangssituation
Beim internen Transport von Dünnwafern kam es wiederholt zu Bruch und Beschädigungen. Ursache waren Vibrationen, unzureichende Fixierung sowie Transportlösungen, die nicht optimal auf den bestehenden Prozess abgestimmt waren. Standardprodukte boten nicht die notwendige Stabilität und Sicherheit für diese besonders empfindlichen Komponenten.
Anforderungen an die Lösung
Minimierung von Vibrationen während des Transports
Sichere und materialschonende Aufnahme der Dünnwafer
Reinraumtaugliche, abriebfreie Materialien
Ergonomisches Handling für das Bedienpersonal
Anpassung an bestehende Transportwege und Prozesse
Unsere Lösung und der daraus resultierende Nutzen
In enger Abstimmung mit dem Kunden wurde eine vibrationsarme, reinraumtaugliche Transportlösung konzipiert. Konstruktion, Materialauswahl und Fertigung wurden exakt auf den bestehenden Prozess und die sensiblen Bauteile abgestimmt.
Deutliche Reduktion von Dünnwafer-Bruch
Durch vibrationsarmen Transport und sichere Fixierung werden Beschädigungen signifikant minimiert.
Verbesserte Prozesssicherheit im Reinraum
Materialien und Konstruktion sind vollständig auf den Reinraumeinsatz abgestimmt.
Langfristig geringere Ausschuss- und Stillstandskosten
Weniger Bruch und stabilere Prozesse reduzieren Kosten und ungeplante Unterbrechungen.


